中國科學(xué)院院士、北京石墨烯研究院院長劉忠范說，懸浮石墨烯傳感器技術(shù)應(yīng)用無論在學(xué)術(shù)界還在產(chǎn)業(yè)界均屬首例。雙方合作有望帶來開啟全球石墨烯產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用面向全新時(shí)代的標(biāo)志性產(chǎn)品。

懸浮石墨烯傳感芯片。圖片來源：東旭光電提供

石墨烯高端應(yīng)用在全球呈快速發(fā)展趨勢。美國、歐盟、日本等80多個(gè)國家皆將石墨烯材料發(fā)展提高到戰(zhàn)略高度，歐洲石墨烯旗艦計(jì)劃、韓國國家石墨烯計(jì)劃、新加坡國家石墨烯研究院等相繼實(shí)施和落地。我國作為全球石墨烯產(chǎn)業(yè)化發(fā)展最活躍的地區(qū)，已在涂料、采暖器和電熱膜等工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了石墨烯應(yīng)用零的突破。

CVD(化學(xué)氣相沉積)法生產(chǎn)石墨烯是將碳原子沉積在特定基體上的一種生產(chǎn)單層石墨烯方法，但其具有轉(zhuǎn)移步驟成本高，導(dǎo)電率低的缺點(diǎn)。硅晶圓懸浮石墨烯技術(shù)是通過傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝，形成上表面為單層石墨烯薄膜的懸浮腔體陣列，最終形成硅晶圓表面的懸浮石墨烯陣列。

馮蔚東說，懸浮石墨烯傳感芯片技術(shù)為CVD石墨烯薄膜“分布”創(chuàng)造了獨(dú)特的解決辦法，使石墨烯能更好發(fā)揮其電學(xué)和力學(xué)性能。懸浮石墨烯傳感芯片技術(shù)在力學(xué)、溫度、濕度檢測以及傳感等領(lǐng)域?qū)⒂袕V闊的應(yīng)用前景。

近年來，石墨烯產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品布局已悄然變化。在2019年WMC世界移動(dòng)通信大會(huì)上，石墨烯5G調(diào)制器、石墨烯寬帶成像設(shè)備等系列高端石墨烯應(yīng)用悉數(shù)亮相，這些應(yīng)用也意味著石墨烯從“工業(yè)味精”到“工業(yè)主角”、從輔材到主材的轉(zhuǎn)變，逐步成為不可替代的“超級材料”。

諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)得主、英國曼徹斯特大學(xué)教授康斯坦丁·諾沃肖洛夫說：“石墨烯在光電領(lǐng)域的應(yīng)用是最令人興奮的事情之一，曼大與東旭光電的合作模式令人振奮，這將催生大量潛在應(yīng)用場景。”